膜厚測定の豊富な知識・ノウハウで、御社および貴大の研究開発・生産のお役に立ちます。

FilmSmart

FilmSmartは、膜厚、屈折率n/減衰係数k、透過/反射率、
色すべてを測定できる膜厚測定システムです。
CCD分光器、光源、ステージ、ファイバ集光系、パソコン、ソフトウェア一体型で、
サンプルを載せるだけで、面倒な作業・設定は一切ありません。
SiO2、NOx、ITO、フォトレジスト、TiO2、多結晶シリコン、ポリイミド、Nb2O5、
サファイア基板の窒化ガリウム、ガラス、シリコン、AI、Cr、PET、PLEDなど
各種サンプルに対応しています。
サンプル測定しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

測定ソフトウェア(付属)
PDF製品カタログ
測定原理の説明 （英語：430kb）